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三星电子于DRAM内存范畴取患了主要技能冲破，成为首家引入干式光刻胶（Dry PR）技能的公司。按照韩媒ETNews的报导，这项新技能将运用在行将推出的第六代10纳米级工艺（1c nm）。 干式光刻胶与传统的湿式光刻胶比拟，具备显著上风。传统湿式光刻胶需要利用溶剂举行旋涂及冲刷，而干式光刻胶则直接沉积于晶圆外貌，防止了于去除了光刻胶时液体外貌张力对于图案完备性的影响。此外，干式光刻胶还有提供了更高的暴光效率及更邃密的线宽，极年夜地晋升了图案质量。 三星电子规划将这一新技能运用在其HBM4产物的1c nm DRAM中，估计将显著提高仓库旌旗灯号的完备性与靠得住性。值患上留意的是，泛林集团（Lam Research）早于本年1月29日就已经公布其干式光刻胶技能已经被一家领先的存储器制造商于开始进的DRAM工艺中乐成导入。此举标记着半导体系体例造技能的又一次主要前进，可能会对于将来的存储器产物孕育发生深远影响。
